激光专用卡盘在加工时抖动，卡盘平衡度欠佳与设备共振都可能是引发该问题的原因，此外还有其他因素也会导致卡盘抖动，以下为你详细分析：
卡盘平衡度欠佳
1.卡盘制造精度问题
原因：在卡盘制造过程中，如果加工精度不达标，会导致卡盘本身的质量分布不均匀。例如，卡盘的卡爪在铸造或机械加工时尺寸偏差较大，或者卡盘体的内部结构存在缺陷，使得卡盘在旋转时产生不平衡力，进而引发抖动。
表现：卡盘在空载旋转时就会出现明显抖动，且抖动频率相对固定。使用动平衡测试仪检测卡盘，可发现其不平衡量超出允许范围。
2.卡盘装夹不当
原因：在将卡盘安装到设备主轴上时，如果安装方法不正确，如安装面不清洁、安装螺栓拧紧力矩不均匀等，会导致卡盘与主轴的同轴度偏差较大，从而使卡盘在旋转时产生抖动。此外，卡盘在装夹工件时，如果工件的定位不准确或者夹紧力不均匀，也会破坏卡盘的平衡，引发抖动。
表现：安装卡盘后，通过百分表检测卡盘的径向跳动和端面跳动，若跳动值超出正常范围，说明卡盘装夹存在问题。在装夹工件后，若抖动明显加剧，且随着工件的旋转位置变化，抖动程度有所不同，进一步表明装夹不当导致了卡盘不平衡。
3.卡盘磨损
原因：长时间使用后，卡盘的卡爪、导轨等部件会出现磨损。卡爪磨损后，其与工件的接触面积和接触压力发生变化，导致夹紧力不均匀；导轨磨损则会影响卡盘的运动精度，使卡盘在旋转时出现摆动，破坏平衡，引发抖动。
表现：观察卡盘的卡爪和导轨，可发现明显的磨损痕迹，如卡爪表面的划痕、导轨的磨损凹槽等。卡盘在加工过程中抖动逐渐加剧，且随着使用时间的增加，抖动问题愈发严重。
设备共振问题
1.设备固有频率与激振频率接近
原因：激光加工设备在运行过程中，会产生各种频率的振动，如主轴旋转、激光发射等产生的振动。当这些激振频率与卡盘或整个设备的固有频率接近或相等时，就会引发共振现象。例如，主轴的旋转频率与卡盘的固有频率接近，在主轴旋转时，卡盘就会因共振而产生剧烈抖动。
表现：卡盘抖动的幅度会随着设备运行参数的变化而发生显著变化，尤其是当激振源的频率接近固有频率时，抖动幅度会急剧增大。通过振动测试仪检测设备的振动频率，分析是否存在与卡盘固有频率相近的激振频率。
2.设备结构设计不合理
原因：如果激光加工设备的结构设计不合理，如设备的刚度不足、支撑结构不稳定等，会降低设备的固有频率，增加共振的可能性。例如，设备的床身、立柱等主要结构件的壁厚过薄，或者连接部位的刚性不足，在受到外界激振力时，容易产生较大的变形和振动，进而引发卡盘抖动。
表现：不仅卡盘抖动，设备的其他部位也可能出现明显的振动。在设备运行时，能听到异常的振动噪声。对设备结构进行模态分析，可发现设备的固有频率较低，且存在容易引发共振的薄弱环节。
其他因素
1.切削参数选择不当
原因：在激光加工过程中，切削参数如切削速度、进给量、切削深度等选择不当，会产生较大的切削力，从而引起卡盘抖动。例如，切削速度过高，会使工件受到的离心力增大，增加卡盘的负荷；进给量过大，会导致切削力突然增大，使卡盘产生振动。
表现：当调整切削参数时，卡盘抖动情况会发生明显变化。如降低切削速度或减小进给量后，抖动减轻，说明切削参数选择不当是导致抖动的原因之一。
2.环境因素影响
原因：加工环境的振动、温度变化等因素也可能影响卡盘的稳定性。例如，加工车间附近有大型机械设备运行，其产生的振动会传递到激光加工设备上，引起卡盘抖动。此外，温度的剧烈变化会导致卡盘和设备部件的热胀冷缩，影响其精度和配合间隙，进而引发抖动。
表现：当外界环境振动源工作时，卡盘抖动加剧；在温度变化较大的时间段内，卡盘抖动情况也会有所不同。通过监测环境振动和温度变化，结合卡盘抖动情况进行分析，可判断环境因素对卡盘抖动的影响。
